교수소개
이원규
표면처리 및 미세 공정·재료
미세공정및재료실험실(공대4호관 402호)
학력
1985 (학사) 서울대학교 공과대학 화학공학과
1987 (석사) 한국과학기술원 화학공학과
1995 (박사) 한국과학기술원 화학공학과
주요경력
1985.1 ~ 2002.2 하이닉스반도체(주) 수석연구원
2002.3 ~ 현재 강원대학교 화공·생물공학부 화학공학전공(舊 화학공학과) 교수
2006.1 ~ 2007.1 미국 플로리다대학교 화학공학과 방문교수
2007.6 ~ 2010.2 강원대학교 KAPRA산업기술연구소 소장
2010.3 ~ 2012.2 강원대학교 공과대학 부학장
2013.6 ~ 2014.2 강원대학교 공과대학 부속공장 공장장
2012.3 ~ 2014.2 강원대학교 산업대학원 원장
2012.3 ~ 2014.2 강원대학교 공과대학 학장
2010.1 ~ 현재 한국세정협의회 운영위원
2013.10 ~ 현재 한국과학창의재단 과학창의앰배서더
2017.1 ~ 현재 한국화학공학회 강원지부장
2018.1 ~ 현재 한국화학공학회 이사 및 재료부문위원회 위원장
연구 관심 분야
반도체 공정 및 재료
미세공정 및 재료
표면처리 및 세정공정
플라즈마 응용 의료기기
그 외
[특허]
- 카르복시산 가교화 전분을 이용한 비산방지용 천연도포제 및 이의 제조방법(10-1711786, 2017-02-23)
- 기체-액체 하이브리드 상압 플라즈마를 이용한 반도체 기판의 세정 방법(10-1647586, 2016-08-04)
- 상압 플라즈마를 이용한 핀홀 검출방법(10-1378291, 2014-03-19)
- 상압 플라즈마 장치(10-1337047, 2013-11-28)
- 국부소독 및 살균 가능한 핸드피스형 플라즈마 장치(10-1320291, 2013-10-14)
- 급속열처리 공정을 이용한 결정질 산화 주석 분말의 제조 방법(10-1154335, 2012-06-01)
- 살균 및 세정능을 갖춘 대기압 플라즈마 표면처리장치(10-1049971, 2011-07-11)
- 무기 실리카바인더로 고정된 광촉매층을 갖는 플라스틱 성형체 및 그의 제조방법(10-1142369, 2012-04-26)
- 다성분계 금속산화막의 형성방법(10-0936947, 2010-01-07)
- 광촉매 활성을 이용한 반도체 소자의 산화막 형성 방법(10-0643091, 2006-10-31)